[发明专利]用于执行缺陷相关功能的计算机实现的方法有效

专利信息
申请号: 200680029267.7 申请日: 2006-06-06
公开(公告)号: CN101238346A 公开(公告)日: 2008-08-06
发明(设计)人: M·迪什纳;C·W·李;S·麦考利;P·休特;D·王 申请(专利权)人: 恪纳腾技术公司
主分类号: G01B5/28 分类号: G01B5/28;G06F19/00
代理公司: 北京嘉和天工知识产权代理事务所 代理人: 严慎
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 为了使用多样性采样,用户可以在本文描述的方法中选择多样性采样,并且可能选择要使用的多样性采样参数。一个提供这种能力的可能的界面是图示一用户界面的一个实施例的屏幕截图,所述用户界面可以被用来选择在本文描述的计算机实现的方法的实施方案中使用的多样性采样。晶片置后处理用户界面(18)图示列表(20)中的多个选项。具体地,列表(20)包括用于聚类(22)、采样(24)、重复器(26)和缺陷限制(28)的选项。采样选项包括评估选项(30)。评估选项(30)包括多样性采样选项(32)以及其他采样选项。用户可以通过点击采样选项名称旁边的选框来选择一个或更多个采样选项。
搜索关键词: 用于 执行 缺陷 相关 功能 计算机 实现 方法
【主权项】:
1.一种用于识别检查数据中的噪声的计算机实现的方法,包括:使用已知用于检测噪声、干扰事件和真实事件的检测参数来检测检查数据集中的事件,其中所述检查数据集是通过对样品进行的不同的检查生成的;以及将在少于一预定数的数量的所述检查数据集中检测到的事件识别为噪声。
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