[发明专利]用于散射仪的双光束设置

摘要

提供了一种具有双光束设置的散射仪或二次散射仪和使用其的方法，以产生光学参数测量值。双光束二次散射仪包括在底部由基底(320)密封的半球形穹面外壳(318)。辐射源(302)分成两个光束产生辐射：用于照明样本表面(308)的照明光束(304)和用于提供与照明光束(304)有关的光学特征信息的校准光束(330)。经由分立的光路将每个光束引导到半球形穹面外壳(318)之内。定位光学成像装置(324)以获取由被照明光束(304)照明的样本表面(308)散射的散射辐射(314)的图像，并同时获取校准光束的图像。在分析散射辐射数据时，利用校准光束图像补偿辐射源(302)的光输出的变化。

主权项

1、一种用于表征样本表面308的光学外观的设备300，所述设备300包括：上部外壳318，其具有顶表面上中心位置处的第一孔隙310、形成于从所述第一孔隙310偏移的位置处的第二孔隙326以及形成于所述上部外壳318的底部位置处并垂直于所述第一孔隙310的第三孔隙332，所述上部外壳318具有被配置成投影屏316的内表面；被配置并定位成支撑所述上部外壳318的基底320，所述基底320和所述上部外壳318形成封闭体积312，并且所述基底320具有与所述第一孔隙310相对定位的开口322，使得当靠着所述基底320的外表面定位所述样本表面308时，通过所述第一孔隙310和所述开口322可以看见所述样本表面308的至少一部分；辅助反射镜328，其设置在所述基底320的内表面上，并与所述第二孔隙326和所述第三孔隙332光学相通；位于所述封闭体积312之外的辐射源302；由所述辐射源302产生的第一辐射束304，所述第一辐射束304被沿着第一光路引导，所述第一光路始于所述辐射源302，经过所述第一孔隙310、所述开口322并以一入射角终止于所述样本表面308；光学成像装置324，位于所述封闭体积312之外，并与所述第二孔隙326和所述辅助反射镜328光学相通；以及由所述辐射源302在发射所述第一辐射束304的同时发射的第二辐射束330，所述第二辐射束330被沿着第二光路引导，所述第二光路始于所述辐射源302，通过所述第三孔隙332进入所述封闭体积312，通过所述第二孔隙326重新定向并终止于所述光学成像装置324。