[发明专利]用于制程真空环境的电子诊断的系统及方法有效
| 申请号： | 200680030059.9 | 申请日： | 2006-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN101243312A | 公开（公告）日： | 2008-08-13 |
| 发明（设计）人： | 约瑟夫·D·亚鲁达;凯瑟琳·D·契;葛伦·F·R·吉尔克利斯特 | 申请（专利权）人： | 布鲁克机械公司 |
| 主分类号： | G01M3/32 | 分类号： | G01M3/32 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁 |
| 地址： | 美国麻*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 根据本发明的一实施例，其揭示一种辨识与一工具有关的真空环境中的一真空品质问题的来源的方法。该方法包括收集并储存真空环境资料；辨识在该真空环境内的一异常现象；判断在该异常现象很可能发生时的一工具构件的操作状态；以及根据该异常现象很可能发生时的一真空环境状态与该工具构件的操作状态来判断该真空品质问题的来源。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 环境 电子 诊断 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种辨识与一工具有关的真空环境中的一真空品质问题的来源的方法，该方法包括：收集并储存真空环境资料；辨识在该真空环境内的一异常现象；判断在该异常现象很可能发生时的一工具构件的操作状态；以及根据该异常现象很可能发生时的一真空环境状态与该工具构件的操作状态来判断该真空品质问题的来源。
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