[发明专利]用于电子柱的检测器及用于电子柱的电子检测方法有效
| 申请号： | 200680030161.9 | 申请日： | 2006-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN101243532A | 公开（公告）日： | 2008-08-13 |
| 发明（设计）人： | 金浩燮 | 申请（专利权）人： | 电子线技术院株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 在传统的微通道板(MCP)、二次电子(SE)检测器或半导体检测器中，通过其自身结构来放大电子的数量。对于这样的放大，从外部施加了微小的电压差，或者由于其自身结构和材料而产生微小的电压差。通过外部放大电路来放大经过上述处理的电子的电流。在本发明中，通过环绕的导电线来检测由微柱所产生的电子束的碰撞而得到的电子。类似于传统的检测方法，在外部使用放大电路来放大所检测的电子。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电子 检测器 检测 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于电子柱的检测器，该检测器由一条或更多条导线所形成的网格形式或导电板形状的导电材料制成，而且，该检测器被设置在样本上方使用。
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