[发明专利]具有焊接板和加热器的基材支撑件

摘要

本发明的基材支撑件包括一顶板、中间板及底板，其藉由硬焊而接合。顶板包括一上表面，其具有分布于凹陷部的多个往外突出的突出部、网状分布的凹陷沟槽、终端连接于凹陷沟槽的真空端口，以及多个气体端口。中间板具有多个中间供应管线，其与顶板相符的顶部供应管线排为一列。底板具有多个底部供应管线，并与中间板的中间供应管线排为一列。顶板与中间板藉由第一硬焊结合层而接合，而中间板与底板藉由第二硬焊结合层而接合。

主权项

1.一种基材支撑件，包括：(a)顶板，包括多个供应管线以及一上表面，该上表面包括：(i)多个往外突出的突出部，是分布在一凹陷部之间；(ii)网状分布的多个凹陷沟槽；(iii)真空端口，该真空端口的终端连接于该些凹陷沟槽，并连接至供应管线；以及(iv)多个气体端口，是连接至其它供应管线；(b)中间板，包括多个中间供应管线，该些中间供应管线与该顶板的该些供应管线排为一列，该中间板藉由第一硬焊结合层而与该顶板接合；以及(c)底板，包括多个底部供应管线，该些底部供应管线与该中间板的该些中间供应管线排为一列，该底板藉由第二硬焊结合层而与该中间板接合。