[发明专利]用于脉冲沉积监测和控制的传感器

摘要

用传感器监测通过脉冲气体传输装置进行的气体传输。传感器可以包括在包括待传输气体的吸收频率的光谱范围内产生辐射的源。光辐射通过容纳有被传输气体的容器来传输。通过容器中气体的光辐射传输之后检测器确定由源到达检测器的辐射的强度。控制器通过所检测的强度来确定容器中气体的光辐射吸收量，从而测量由气体传输装置传输的气体的精确的量。控制器还通过将被传输的气体的量适当地调节至预定量而实时地监控制台气体的传输。传感器和控制器还可以监测气体传输装置的故障或超出故障行为。

主权项

1.一种设备，包括：脉冲气体传输装置，其被构造为以一个或多个脉冲传输气体；传感器，其与脉冲气体传输装置相连并被构造为响应通过该气体传输装置进行的气体传输的存在或缺乏；以及控制器，其被构造为通过传感器的响应来确定由脉冲气体传输装置传输的气体的量。