[发明专利]探针卡及其制造方法无效
| 申请号： | 200680031627.7 | 申请日： | 2006-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN101258410A | 公开（公告）日： | 2008-09-03 |
| 发明（设计）人： | 町田一道 | 申请（专利权）人： | 日本电子材料株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种可在更高温度下使用的探针卡及其制造方法。用相同的金属材料形成接触探针及电极垫的各接合界面，在真空中向各接合界面照射离子以去除杂质，然后在真空状态下直接以使各接合界面会合的方式进行对位。由此，通过各接合界面的结合键的彼此结合而在常温下使接合界面彼此接合，因此，不必如经由熔融层接合的情形那样，须于接触探针及电极垫之间形成熔点低的熔融层。因此，如果以熔点高的金属材料形成接触探针及电极垫，则接触探针及电极垫直到高温都不会熔融，因此可提供在更高温度下使用的探针卡。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种探针卡，其特征在于，包括：接触探针，用以接触检查对象物；和基板，表面形成有与上述接触探针接合的电极垫，上述接触探针及上述电极垫的各接合界面由相同的金属材料形成，上述接触探针及上述电极垫通过使相互的接合界面在真空中会合而接合。
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