[发明专利]具有压电声学共振元件的装置及其制造方法以及输出取决于共振频率的信号的方法有效
| 申请号： | 200680032859.4 | 申请日： | 2006-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN101258676A | 公开（公告）日： | 2008-09-03 |
| 发明（设计）人： | R·加布尔;M·施雷特 | 申请（专利权）人： | 西门子公司 |
| 主分类号： | H03H9/05 | 分类号： | H03H9/05;G01N29/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 卢江;刘春元 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种包括至少一个压电声学共振元件(2)的装置，该压电声学共振元件具有压电层(32)和两个与该压电层(32)电接触的电极，其中压电声学共振元件(2)这样实现，通过用电极在压电层(32)上施加电压，激励压电层(32)以共振频率进行声学体振动。按照本发明，该装置具有与该压电声学共振元件(2)集成的温度获取装置(3)，该温度获取装置具有实施为薄层的测量元件(37)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 压电 声学 共振 元件 装置 及其 制造 方法 以及 输出 取决于 共振频率 信号 | ||
【主权项】：
1.一种包括至少一个压电声学共振元件(2)的装置，该压电声学共振元件具有压电层(32)和两个与该压电层(32)电接触的电极，其中压电声学共振元件(2)这样实现，通过用电极在压电层(32)上施加电压，激励压电层(32)以共振频率进行声学体振动，其特征在于，具有与该压电声学共振元件(2)集成的温度获取装置(3)。
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