[发明专利]图案形成材料以及图案形成装置及图案形成方法有效
| 申请号： | 200680033839.9 | 申请日： | 2006-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN101263425A | 公开（公告）日： | 2008-09-10 |
| 发明（设计）人： | 南一守;佐藤守正 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/033;G03F7/20;G03F7/027;C08F299/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种表面故障少、可以防止显色剂引起的光灰雾、未曝光膜的破裂少、析像度高、遮盖膜强度高而且图案形成后的剥离性良好、可以形成更高精细的图案的图案形成材料以及具备该图案形成材料的图案形成装置及使用所述图案形成材料的图案形成方法。为此，提供一种图案形成材料，其中，感光层内含粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂、杂缩环系化合物、阻聚剂、显色剂以及有机溶剂，粘合剂的酸值为50～400mgKOH/g，而且质均分子量为10,000～100,000，聚合性化合物内含具有尿烷基的化合物以及具有芳基的化合物的至少任意一种，有机溶剂为从酮类、醇类以及醚类中选择的至少一种，而且含量为0.5质量％以下。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 材料 以及 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种图案形成材料，其特征在于，具有支撑体和在该支撑体上的感光层，该感光层包含(A)粘合剂、(B)聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、(D)杂缩环系化合物、(E)阻聚剂、(F)显色剂以及(G)有机溶剂，(A)粘合剂的酸值为50～400mgKOH/g，且质均分子量为10,000～100,000，(B)聚合性化合物包含(b1)具有尿烷基的化合物以及(b2)具有芳基的化合物中的至少一种，(G)有机溶剂为从酮类、醇类以及醚类中选择的至少一种，而且残存量为0.5质量％以下。
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