[发明专利]碳酸铈粉末及其制备方法、由该碳酸铈粉末制备的氧化铈粉末及其制备方法以及含该氧化铈粉末的CMP浆料无效
| 申请号： | 200680034248.3 | 申请日： | 2006-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN101268017A | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 吴明焕;鲁埈硕;金钟珌;金长烈;曹昇范 | 申请（专利权）人： | LG化学株式会社 |
| 主分类号： | C01F17/00 | 分类号： | C01F17/00 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人： | 朱梅;徐志明 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了通过将铈前驱体溶液与碳酸盐前驱体溶液混合以产生沉淀而制备碳酸铈粉末的方法，其中用于铈前驱体溶液和碳酸盐前驱体溶液的至少一种溶剂为有机溶剂。本发明还公开了由所述方法制得的碳酸铈粉末、由所述碳酸铈粉末制得的氧化铈粉末、制备所述氧化铈粉末的方法以及包含所述氧化铈粉末的CMP浆料。使用有机溶剂制备碳酸铈的方法使生成的碳酸铈粉末具有可由初始成核步骤控制的尺寸和形状。此外，可容易地控制由碳酸铈粉末制得的氧化铈粉末的尺寸和形状。 | ||
| 搜索关键词： | 碳酸 粉末 及其 制备 方法 氧化 以及 cmp 浆料 | ||
【主权项】：
1、一种制备碳酸铈粉末的方法，该方法通过将铈前驱体溶液与碳酸盐前驱体溶液混合以产生沉淀而制备碳酸铈粉末，其中用于铈前驱体溶液和碳酸盐前驱体溶液的至少一种溶剂为有机溶剂。
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