[发明专利]用于处理隔离的衬底边缘区域的方法和设备无效
| 申请号： | 200680034408.4 | 申请日： | 2006-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN101268542A | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 乔尔·B·贝利;乔纳森·多昂;保罗·F·福德哈森;约翰尼·D·奥尔蒂斯;迈克尔·D·罗宾斯 | 申请（专利权）人： | 美国阿可利技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;G03F7/16;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐江华;王珍仙 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明描述了一种隔离的衬底边缘区域处理方法和设备。所述设备具有隔离部，用于隔离并通过干法化学技术处理包含有衬底边缘区域在内的衬底的一部分。隔离部具有当衬底在卡盘上转动时用于将活性反应组分流导向衬底的边缘区域的喷嘴和用于将活性反应组分流偏流向排气压力通风部的净化压力通风部。回流控制防止活性反应组分和反应副产物移出处理区域。具有隔离部的用于处理衬底的方法包括：将活性反应组分流以一角度导向衬底的边缘区域，而同时通过净化压力通风部和排气压力通风部提供的流动控制形成处理区域周围的边界。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 处理 隔离 衬底 边缘 区域 方法 设备 | ||
【主权项】：
1、一种衬底边缘处理设备，包括：卡盘，用于夹持衬底；隔离部构件，包括喷嘴歧管和排气压力通风部，其中，所述喷嘴歧管覆盖所述衬底边缘的一部分，所述排气压力通风部远离所述衬底而延伸；在所述喷嘴歧管中的一个或多个槽，所述一个或多个槽从衬底的边缘处或其邻近处，然后在所述衬底的近边缘表面之上并跨越该表面延伸至所述衬底的边缘处或其邻近处，从而形成用于将活性反应组分的流动限制在所述衬底的近边缘的通风部；设置在所述喷嘴歧管中的一个或多个喷嘴，其中所述一个或多个喷嘴中的至少一个喷嘴以介于垂直和平行于所述卡盘的顶表面之间的角度设置在所述隔离部中。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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