[发明专利]弹性表面波元件和弹性表面波装置

摘要

该弹性表面波元件(1)具备在压电基板(10)上具有电极指(11a)的IDT电极(11)。电极指(11a)层叠中间层(12)与具有比中间层(12)更大的热膨胀系数的电极层(13)。电极指(11a)具有在接近压电基板(10)的方向变宽的梯形形状的截面形状。中间层(12)的侧面(1)所成的角度(α₁)形成为比电极层(13)的侧面所成的角度(β₁)更大。

主权项

1.一种弹性表面波元件，包括：压电基板；和具有电极指的IDT电极，其形成在所述压电基板的主面上；所述电极指通过将多个导体层层叠而形成，其中所述多个导体层包括第一导体层和与该第一导体层的材料不同材料的第二导体层；所述第一导体层，在与所述电极指的长度方向正交的面的截面形状具有沿着接近压电基板的方向变宽的梯形形状；所述第二导体层，在与所述电极指的长度方向正交的面的截面形状具有沿着接近压电基板的方向变宽的梯形形状；所述第一导体层的侧面与所述压电基板的主面所成的角度与所述第二导体层的侧面与所述压电基板的主面所成的角度不同。