[发明专利]用于检查基板的表面的测量装置和测量系统无效
| 申请号： | 200680035452.7 | 申请日： | 2006-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN101273245A | 公开（公告）日： | 2008-09-24 |
| 发明（设计）人： | 弗朗茨·德罗布纳;特奥多罗·龙鲍尔 | 申请（专利权）人： | 西门子公司 |
| 主分类号： | G01B13/16 | 分类号： | G01B13/16 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章杜杲;吴贵明 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于通过测量头(110)来检查基板(190)的表面的测量装置，该测量头具有用于检测表面的传感器(111)和设置在传感器旁侧的气动件(112)，该气动件包括入口(115)和至少一个向下取向的出口(114)。此外，测量装置还具有：面定位系统(220)，其被设置用来将测量头(110、210)精确地定位在基板(190)之上的x－y平面内；以及压力空气生成装置(250)，其与入口(215)气动地耦合，从而在用压力空气加载气动件(112、212)时，测量头(110、210)可以预设的高度定位在基板(190)上方并且在气垫上滑动。此外，本发明还涉及一种具有多个前述类型的测量装置的测量系统，该系统这样地彼此相对设置，即各个传感器形成测量行。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 表面 测量 装置 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于检查基板(190)的表面的测量装置，具有：测量头(110)，所述测量头具有：传感器(111)，用于检测所述表面；在所述传感器(111)旁侧设置的气动件(112)，所述气动件包括入口(115)和至少一个向下取向的出口(114)；面定位系统(220)，设置用来将测量头(110、210)精确地定位在所述基板(190)之上的x-y平面内；以及压力空气生成装置(250)，所述压力空气生成装置与入口(115、215)气动地耦合，从而在用压力空气加载气动件(112、212)时，所述测量头(110、210)可以预设的高度定位在所述基板(190)上方。
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