[发明专利]正型感光性树脂组合物有效
| 申请号： | 200680035622.1 | 申请日： | 2006-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN101273303A | 公开（公告）日： | 2008-09-24 |
| 发明（设计）人： | 涉井智史 | 申请（专利权）人： | 旭化成电子材料元件株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023;G03F7/004;G03F7/40;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供正型感光性树脂组合物，其特征在于，相对于100质量份具有重复单元的羟基聚酰胺，其含有1～50质量份光致产酸剂、0.01～70质量份萜烯化合物。通过在具有特定结构的羟基聚酰胺中组合萜烯化合物，能够提供灵敏度、解像度等正型的平版印刷性能优异的正型感光性树脂组合物。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1、一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，相对于100质量份具有下述通式(1)表示的重复单元的羟基聚酰胺，其含有1～50质量份光致产酸剂、0.01～70质量份萜烯化合物，![]()
式中，X1是具有至少2个以上碳原子的4价有机基团，X2、Y1、和Y2各自独立地是具有至少2个以上碳原子的2价有机基团，m是2～1000的整数，n是0～500的整数，m/(m+n)＞0.5，此外，含有X1和Y1的m个二羟基二酰胺单元以及含有X2和Y2的n个二酰胺单元的排列顺序是任意的。
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