[发明专利]分析多层材料中元素成分和厚度无效
| 申请号： | 200680037248.9 | 申请日： | 2006-10-04 |
| 公开（公告）号： | CN101283268A | 公开（公告）日： | 2008-10-08 |
| 发明（设计）人： | 李·格罗德津斯 | 申请（专利权）人： | 特莫尼托恩分析仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/223 | 分类号： | G01N23/223 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵军;张颖玲 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种方法和计算机程序软件产品，用于对覆盖在基底上的材料层堆中的一层建立元素组成的表面密度。偶然的渗透放射在与一个或多个元素中的每个相关联的多线路(lines)中激发特有的X射线荧光放射。连续层的表面密度通过与连续元素的特有荧光线路的强度比率相关的等式的自洽(self－consistent)解决方案来确定。 | ||
| 搜索关键词： | 分析 多层 材料 元素 成分 厚度 | ||
【主权项】：
1. 一种方法，用于在由多层材料构成的多层结构中建立多层材料的元素组成的表面密度，所述方法包括：利用渗透放射照射已知元素成分的定标样本；校准至少第一和第二X射线特有荧光线路的绝对强度，所述特有荧光线路由多层结构中至少一层中的单个或两个元素的定标样本所发出；利用渗透放射照射所述多层结构；检测从所述多层中散发的荧光放射；确定在每个所述第一和第二特有荧光线路上的荧光强度；基于在所述第一和第二特有荧光线路的能量上的吸收的已知函数相关性，分别解决所述层的表面密度和由于覆盖层的吸收；以及针对所述多层结构的第二层，重复所述解决步骤。
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