[发明专利]压电执行器及其制造方法无效
| 申请号： | 200680039823.9 | 申请日： | 2006-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN101356661A | 公开（公告）日： | 2009-01-28 |
| 发明（设计）人： | M·施罗德;M·韦格尔 | 申请（专利权）人： | 欧陆汽车有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L41/24 | 分类号： | H01L41/24;H01L41/083 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 卢江;刘春元 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种压电执行器以及一种用于制造此类压电执行器的方法，所述方法包括以下方法步骤：设置多个可拼合成堆叠的压电材料层(2)；分别将具有空隙(4，4′)的电极层(3)施加在多个压电材料层上，使得在堆叠中形成压电材料层和电极层的交替序列，其中在堆叠中以交替方式设置具有第一空隙区内的空隙(4)的电极层和具有不同于第一空隙区的第二空隙区内的空隙(4′)的电极层；并且在第一和第二空隙中设置卸载材料(5)，所述卸载材料在对堆叠进行烧结之后具有电绝缘特性和不粘贴各个材料层的特性。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 执行 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.用于制造压电执行器(1)的方法，包括下列方法步骤：-设置多个可拼合成堆叠的压电材料层(2)；-将分别具有空隙(4；4′)的电极层(3)施加在多个压电材料层(2)上，使得在堆叠内形成压电材料层(2)和电极层(3)的交替序列，其中在堆叠中以交替方式设置具有第一空隙区内的空隙(4)的电极层(3)和具有不同于第一空隙区的第二空隙区内的空隙(4′)的电极层(3)；并且-在第一和第二空隙(4；4′)中设置卸载材料(5)，所述卸载材料在烧结堆叠之后具有电绝缘特性和不粘贴各个材料层(2)的特性。
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