[发明专利]用于检测电子束的多层检测器和方法有效
| 申请号： | 200680040009.9 | 申请日： | 2006-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN101297219A | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | 安德斯·克里斯蒂安松;拉尔斯·奥克·内斯隆德;汉斯·哈尔斯坦迪斯 | 申请（专利权）人： | 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司 |
| 主分类号： | G01T1/18 | 分类号： | G01T1/18;H01J47/14 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;吴贵明 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 披露了一种用于检测电子束(106)强度的检测器和方法，一种示例性的检测器包括多层复合结构(104)，其具有导电芯(110)、形成在该导电芯(110)上的绝缘层(112)以及电连接到电压电位并形成在该绝缘层(112)上的外部导电层(114)。支撑件(116)配置为在该电子束发生器(102)和目标区域(108)之间，将该导电芯(110)设置为与电子束发生器(102)对准，并位于将由该电子束发生器(102)产生的电子束(106)的直接路径内。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 电子束 多层 检测器 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于检测产生的电子束(106)的强度的检测器，其包括：多层复合结构(104；200；300；400；500；600；608；616；700；800)，其具有导电芯(110；402；502；504；602；610；618；704；706；802)、形成在该导电芯上的绝缘层(112；404；506；508；604；612；620；708；804)以及电连接到电压电位并形成在该绝缘层上的外部导电层(114；406；510；606；614；622；702；806)，以及支撑件(116)，其配置为在将由该电子束发生器(102)产生的电子束(106)的直接路径内，在该电子束发生器(102)和目标区域(108)之间，将该复合结构设置为与电子束发生器(102)对准。
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