[发明专利]铈系研磨材料有效
| 申请号： | 200680040308.2 | 申请日： | 2006-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN101321841A | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 瓜生博美;内野义嗣 | 申请（专利权）人： | 三井金属鉱业株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 冯雅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供氧化铈含量高的高纯度铈系研磨材料，该研磨材料的研磨速度得到了改善。本发明的铈系研磨材料的特征在于，它是相对于全部稀土类氧化物(TREO)的氧化铈的含量为90质量％以上的铈系研磨材料，相对于研磨材料总量，含有0.01～2.0质量％的选自Ti及原子序号80以下的5族～12族的元素的至少1种特定元素。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 材料 | ||
【主权项】：
1.铈系研磨材料，其特征在于，它是相对于全部稀土类氧化物(TREO)的氧化铈的含量为90质量％以上的铈系研磨材料，相对于研磨材料总量，含有0.01～2.0质量％的选自Ti及原子序号80以下的5族～12族的元素的至少1种的特定元素。
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