[发明专利]倍半硅氧烷－二氧化钛杂化聚合物有效
| 申请号： | 200680040434.8 | 申请日： | 2006-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN101300289A | 公开（公告）日： | 2008-11-05 |
| 发明（设计）人： | P·J·波帕;L·K·米尔斯;K·E·霍华德 | 申请（专利权）人： | 陶氏环球技术公司 |
| 主分类号： | C08G77/48 | 分类号： | C08G77/48;C08G77/58;G03F7/09 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及倍半硅氧烷－二氧化钛杂化聚合物，其中，二氧化钛相区尺寸小于大约5纳米。该聚合物用于，例如，在微电子器件加工中形成减反射膜。 | ||
| 搜索关键词： | 倍半硅氧烷 氧化 钛杂化 聚合物 | ||
【主权项】：
1、一种生产倍半硅氧烷-二氧化钛杂化聚合物的方法，其包含以下步骤：(a)通过(i)将有机钛酸酯的惰性溶剂溶液加入倍半硅氧烷聚合物的惰性溶剂溶液以形成中间体，有机钛酸酯具有通式(RO)4Ti，其中R为具有1-20个碳原子且任选含有一个或多个杂原子的烷基、芳香基或烷芳基，倍半硅氧烷聚合物具有小于1100克/摩尔的重均分子量；或(ii)将倍半硅氧烷聚合物的惰性溶剂溶液加入有机钛酸酯的惰性溶剂溶液以形成中间体，有机钛酸酯具有通式(RO)4Ti，其中R为具有1-20个碳原子且任选含有一个或多个杂原子的烷基、芳香基或烷芳基，将有机钛酸酯和倍半硅氧烷聚合物相结合；和将水加入中间体以形成倍半硅氧烷-二氧化钛杂化聚合物。
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