[发明专利]使用样品间距的扫描探针显微镜方法和装置有效
| 申请号： | 200680040754.3 | 申请日： | 2006-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN101300480A | 公开（公告）日： | 2008-11-05 |
| 发明（设计）人： | 戴维·A·克尼贝格;罗希特·贾殷;詹森·R·奥斯本;姚威;马修·T·克洛诺夫斯基;英戈·施米茨 | 申请（专利权）人： | 威科仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/00 | 分类号： | G01N23/00;G01B5/28;G01D18/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑小军 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 优选实施例涉及一种操作扫描探针显微镜(SPM)的方法和装置，其使用小于五行、更优选为两行的测量扫描来执行样本测量，以精确定位样本的特征的域。这是通过选择测量扫描的相邻行之间的步长距离，使其不等于在垂直于测量扫描横穿的方向上特征的间距，即不等于扫描方向XPO上特征的间距来实现。扫描的纵横比还可修改以进一步提高样本的处理量。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 样品 间距 扫描 探针 显微镜 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种从样本的特征的域获取数据的方法，所述方法包括：执行测量扫描以定位所述域，其中所述测量扫描使用不多于五个测量扫描行来定位所述域，以及执行数据扫描以获取表示所述特征的数据。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于威科仪器有限公司，未经威科仪器有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200680040754.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：便携式热传递装置
- 下一篇：在数据盘上修整RFID天线
