[发明专利]一种用来测试测试样品的电属性的探针有效
| 申请号： | 200680040958.7 | 申请日： | 2006-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN101300496A | 公开（公告）日： | 2008-11-05 |
| 发明（设计）人： | 德志·佩特森;托本·M.·汉森;彼得·R.E.·彼得森 | 申请（专利权）人： | 卡普雷斯股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张瑾;王黎延 |
| 地址： | 丹麦*** | 国省代码： | 丹麦;DK |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用来测试测试样品(508)的电属性的探针(502)。该探针可以包括主体(504)，主体具有包括近端和与近端相对的远端的探针臂(506)，该探针臂在探针臂近端，从主体延伸出来，由近端和远端限定出第一轴。进一步地，该探针臂可以具有几何部件，使探针臂可以沿着第一轴，并沿着垂直于第一轴的第二轴，并沿着与第一轴和第二轴限定的平面正交的第三轴弹性移动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用来 测试 样品 属性 探针 | ||
【主权项】：
1.一种用来测试测试样品的电属性的探针，所述探针包括：主体，具有包括近端和与近端相对的远端的探针臂，所述探针臂在所述探针臂的所述近端上，从所述主体延伸出来，主体还具有由所述近端和所述远端限定出的第一轴，所述探针臂具有几何部件，使所述探针臂可以沿着所述第一轴，并沿着垂直于所述第一轴的第二轴，并沿着与所述第一轴和第二轴限定的平面正交的第三轴弹性移动。
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