[发明专利]等离子体诊断设备及方法无效
| 申请号： | 200680041101.7 | 申请日： | 2006-10-02 |
| 公开（公告）号： | CN101361176A | 公开（公告）日： | 2009-02-04 |
| 发明（设计）人： | 郑进旭;李敏馨;张圣虎 | 申请（专利权）人： | 韩国标准科学研究院;郑进旭 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人： | 韩明星;张军 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了一种包括插入到等离子体中或置于等离子体的边界处的探针单元的等离子体诊断设备，所述设备包括：信号提供单元，具有信号提供源；电流检测/电压转换单元，用于将从信号提供单元施加的周期性电压信号施加到探针单元、检测流过探针单元的电流的幅值并将检测的电流转换为电压；分频测量单元，用于通过接收从电流检测/电压转换单元输出的电压作为输入来计算流过探针单元的电流的各个频率分量的幅值和相位。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 诊断 设备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种包括插入到等离子体中或置于等离子体的边界处的探针单元的等离子体诊断设备，所述设备包括：信号提供单元，具有信号提供源；电流检测/电压转换单元，用于将从信号提供单元施加的周期性电压信号施加到探针单元、检测流过探针单元的电流的幅值并将检测的电流转换为电压；分频测量单元，用于接收从电流检测/电压转换单元输出的电压作为输入，并计算流过探针单元的电流的各个频率分量的幅值和相位。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
