[发明专利]用于基于多种形式的设计数据的图案生成的方法和系统有效
| 申请号： | 200680041540.8 | 申请日： | 2006-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN101305323A | 公开（公告）日： | 2008-11-12 |
| 发明（设计）人： | 拉斯·伊凡森 | 申请（专利权）人： | 麦克罗尼克激光系统公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 周少杰 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | 在图案生成方法中，设计的性质被在掩模数据准备系统中提取，并且性质被传播到平版印刷写入系统。图案基于分割的设计数据和提取的性质生成。通过保留意图用于平版印刷写入系统的设计，图案复制的保真度可以改进。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 基于 多种 形式 设计 数据 图案 生成 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种图案生成方法，该方法包括：格式化与图案相关联的设计数据，以生成分割的图案和非分割格式的、与该图案相关联的元数据；以及基于分割的数据和元数据生成图案。
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