[发明专利]作为分析具有成角度形貌的衬底的AFM探针的Y－形碳纳米管有效
| 申请号： | 200680043688.5 | 申请日： | 2006-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN101313206A | 公开（公告）日： | 2008-11-26 |
| 发明（设计）人： | C·A·博伊;古川俊治;M·C·哈基;S·J·霍姆斯;D·V·霍拉克;C·W·科布尔格三世 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G01N13/16 | 分类号： | G01N13/16;G12B21/08;G12B21/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 朱海波 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种Y－形碳纳米管原子力显微镜探针针头和方法，包括杆部；从该杆部的同一端延伸的一对成角度的臂，其中该杆部和一对成角度的臂包括化学修饰的碳纳米管，并且其中该化学修饰的碳纳米管是利用胺、羧基、氟和金属成分的任一个修饰的。优选地，每对成角度的臂包括至少200nm的长度和10到200nm之间的直径。此外，化学修饰的碳纳米管优选地适应于待探测衬底材料之间的区别。另外，化学修饰的碳纳米管优选地适合于允许氟气体流经化学修饰的碳纳米管到待特征化的衬底上。此外，化学修饰的碳纳米管优选地适合于与待特征化的衬底表面进行化学反应。 | ||
| 搜索关键词： | 作为 分析 有成 角度 形貌 衬底 afm 探针 纳米 | ||
【主权项】：
1.一种Y-形碳纳米管原子力显微镜探针针头，包括：杆部；从所述杆部的同一端延伸的一对成角度的臂，其中所述杆部和所述一对成角度的臂包括化学修饰的碳纳米管，以及其中所述化学修饰的碳纳米管是利用胺、羧基、氟和金属成分的任一个修饰的。
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