[发明专利]微波等离子体消除设备无效
| 申请号： | 200680043944.0 | 申请日： | 2006-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN101340968A | 公开（公告）日： | 2009-01-07 |
| 发明（设计）人： | M·拉多尤;J·R·史密斯;A·J·西利 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00;B01D53/32;H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张雪梅;王小衡 |
| 地址： | 英国西萨*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 在操作微波等离子体消除设备的方法中，该设备包括微波发生器和用于接收来自微波发生器的微波能量并在其中利用微波能量产生等离子体的气体腔室，监控没有在气体腔室内吸收的微波能量的量，并根据监控的微波能量调节微波发生器产生的微波能量的功率。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 等离子体 消除 设备 | ||
【主权项】：
1.一种微波等离子体消除设备，包括微波发生器、用于接收来自微波发生器的微波能量并在其中利用该微波能量产生等离子体的气体腔室、用于监控没有在气体腔室内吸收的微波能量的量的装置，和根据来自监控装置的输出调节微波发生器产生的微波能量的功率的装置。
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