[发明专利]将前体层转换成光伏吸收体的方法和装置

摘要

本发明涉及为辐射检测器和光伏应用制备半导体膜的薄膜的方法和装置。在一个方面中，本发明包括在入口和出口之间的一系列室，每个室含有使衬底从中穿过的间隙，并受温度控制，从而使每个室保持不同温度，和通过有效地移过一系列室，根据预定温度分布对衬底退火。在另一个方面中，每个室被打开和关闭，并当处在关闭位置中时形成密封，在此期间在室的间隙内进行退火。在进一步的方面中，本发明提供了在柔性卷形物的表面上形成IBIIIAVIA族化合物层的方法。

主权项

1.一种按照预定温度分布处理衬底的列式反应器，该反应器包含：衬底入口；衬底出口；在所述衬底入口和所述衬底出口之间的一系列室，每个室包括：上体，下体，在所述上体与所述下体之间形成的间隙，其中，所述间隙具有宽度、高度和长度，每个室的最窄宽度与最窄高度之比至少是15，并且该系列室中的每一个的间隙与该系列室中的其它室的间隙对准，和温度控制器，用于根据预定温度分布调节所述间隙内的温度，以使在至少一些室的间隙内存在不同温度；通过该系列室的每个间隙将衬底从所述衬底入口移动到所述衬底出口的机构；和至少一个气体入口，配置成将气体输送到相应至少一个室的间隙中。