[发明专利]微小机电装置无效
| 申请号： | 200680044615.8 | 申请日： | 2006-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN101317328A | 公开（公告）日： | 2008-12-03 |
| 发明（设计）人： | 田中均洋;木下隆;山下启太郎 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;B81B3/00;H02N13/00;H03H9/46 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 董方源 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够通过简单的元件构造来处理高频区域的电信号的微小机电装置。本发明的微小机电装置包括振动子元件，该振动子元件在衬底上具有多个电极和与该电极相对并通过静电驱动进行振动的梁，所述微小机电装置向多个电极和梁中的某一组合输入高频信号并从该组合输出高频信号。 | ||
| 搜索关键词： | 微小 机电 装置 | ||
【主权项】：
1.一种微小机电装置，其特征在于，包括振动子元件，该振动子元件在衬底上具有多个电极和与该电极相对并通过静电驱动进行振动的梁，所述微小机电装置向所述多个电极和所述梁中的某一组合输入高频信号并从该组合输出高频信号。
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