[发明专利]探针卡

摘要

本发明的目的在于提供一种无论具有配线图案的基板有无变形，都可提高平面度和平行度的各精度的探针卡。为了实现该目的，本发明的探针卡具有：多个探针，其由导电性材料所构成，用于接触半导体晶片而进行电信号的输入或输出；探针头，其收容并保持多个探针；基板，其具有与产生检查用信号的电路结构相对应的配线图案；加强构件，其安装在基板上以加强基板；中继件，其叠层在基板上以中继基板的配线；空间转换件，其叠层在中继件和探针头之间，用以转换由中继件所中继的配线的间隔从而露出于与探针头相对侧的表面；以及多个第一柱构件，其从基板的表面即叠层有中继件的部分的表面来贯穿该基板而埋设，且具有比基板的板厚还大的高度。

主权项

1.一种探针卡，其电连接在作为检查对象的半导体晶片与生成检查用的信号的电路构造之间，其特征在于，包括：多个探针，其由导电性材料构成，与所述半导体晶片接触来进行电信号的输入或输出；探针头，其收容保持所述多个探针；平板状的基板，其具有与所述电路构造对应的配线图案；加强构件，其安装在所述基板上，对所述基板进行加强；中继件，其层叠在所述基板上来中继所述基板的配线；空间转换件，其被层叠在所述中继件以及所述探针头之间，来转换用所述中继件中继的配线的间隔，而露出在与所述探针头相对的一侧的表面；多个第一柱构件，其从所述基板的表面即层叠有所述中继件的部分的表面贯通该基板而被埋设，具有比所述基板的板厚大的高度。