[发明专利]微加工声波加速度计无效
| 申请号： | 200680046583.5 | 申请日： | 2006-10-05 |
| 公开（公告）号： | CN101326444A | 公开（公告）日： | 2008-12-17 |
| 发明（设计）人： | J·D·库克;J·Z·刘;S·J·马吉 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王岳;王小衡 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种微加工加速度传感设备包括起传播介质作用的压电衬底。在衬底上布置隔板，其中隔板被蚀刻，以便形成一个或多个蚀刻的空腔。在隔板上形成传感元件，其中在隔板之上定位传感元件中的第一传感元件，在隔板的侧面上定位传感元件中的第二传感元件，并且在关于第一和第二传感元件的结晶学不同定向处定位传感元件中的第三传感元件，从而使衬底，隔板和多个传感元件包括微加工加速度传感设备，该微加工加速度传感设备在衬底的一端被固定至加速度下的目标，并且受到衬底的自由端处的力，以便提供表示加速度的信号。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 声波 加速度计 | ||
【主权项】：
1、一种加速度传感设备，包括：起传播介质作用的压电衬底；在所述衬底上布置的隔板，其中所述隔板被蚀刻以便形成其至少一个蚀刻的空腔；以及在所述隔板上形成的多个传感元件，其中在所述隔板上面定位所述多个传感元件中的第一传感元件，在所述隔板的侧面定位所述多个传感元件中的第二传感元件，并且在相对于所述第一和第二传感元件的结晶学不同定向处定位所述多个传感元件中的第三传感元件，从而使所述衬底、所述隔板和所述多个传感元件包括微加工加速度传感设备，所述微加工加速度传感设备在所述衬底的一端被固定至处于加速度下的目标，并且在所述衬底的所述自由端处受到力的作用，以便提供表示加速度的信号。
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