[发明专利]为在活性气体发生器中点燃和维持等离子体的供电方法和装置有效
| 申请号： | 200680047252.3 | 申请日： | 2006-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN101331579A | 公开（公告）日： | 2008-12-24 |
| 发明（设计）人： | A·米尔纳;T·亚历山大;I·贝斯特亚克;K·泰兰;M·约什 | 申请（专利权）人： | MKS仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 刘佳 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 根据第一方面，提供一种供电以在活性气体发生器中点燃等离子体的电源和方法，包括：(i)将包括谐振电感和谐振电容的串联谐振电路耦合在开关电源和变压器之间，所述变压器具有变压器主动部分和等离子体继发部分；(ii)横跨变压器主动部分提供来自谐振电容的基本谐振的AC电压，由此在变压器主动部分中感应出基本谐振的电流以产生等离子体继发部分；以及(iii)一旦产生等离子体继发部分，谐振电感限制流至开关电源的电流。根据另一方面，可将双极型高电压点燃电极与感性能量耦合协同使用以帮助等离子体点燃。 | ||
| 搜索关键词： | 活性 气体 发生器 点燃 维持 等离子体 供电 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种供电以在活性气体发生器中点燃等离子体的方法，包括：将包括谐振电感和谐振电容的串联谐振电路耦合在开关电源和变压器之间，所述变压器具有变压器主动部分和等离子体继发部分；从横跨变压器主动部分的谐振电容提供基本谐振的AC电压，由此在变压器主动部分中感应出基本谐振的电流以产生等离子体继发部分；以及一旦产生等离子体继发部分，谐振电感限制流至开关电源的电流。
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