[发明专利]用于产生高效下游微波等离子系统的方法和装置无效
| 申请号： | 200680048819.9 | 申请日： | 2006-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN101346206A | 公开（公告）日： | 2009-01-14 |
| 发明（设计）人： | 穆罕默德·卡马尔哈;英彦·艾伯特·王 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | B23K9/00 | 分类号： | B23K9/00;B23K9/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余刚;尚志峰 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种等离子生成装置，其配置为将等离子向下提供至等离子处理室。该装置包括微波波导管总成，该总成具有平行于第一轴的纵轴。该装置还包括等离子管总成，其与该微波波导管总成相交。该等离子管总成具有平行于第二轴的纵轴，该第二轴基本上正交于该第一轴。该等离子管总成还具有由上游多个等离子阱和下游多个等离子阱限定的等离子保持区域。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 产生 高效 下游 微波 等离子 系统 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子生成装置，配置为将等离子向下游提供至等离子处理室，包括：微波波导管总成，其具有平行于第一轴的纵轴；等离子管总成，与所述微波波导管总成相交，所述等离子管总成具有平行于第二轴的纵轴，该第二轴与所述第一轴大体上正交，所述等离子管总成具有由上游多个等离子阱和下游多个等离子阱限定的等离子保持区域。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于朗姆研究公司，未经朗姆研究公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200680048819.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：粗纱机上变频电机的编码器结构
- 下一篇：一种全自动印刷机的压网机构
