[发明专利]图案形成材料以及图案形成装置及图案形成方法无效
| 申请号： | 200680048863.X | 申请日： | 2006-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN101346666A | 公开（公告）日： | 2009-01-14 |
| 发明（设计）人： | 佐藤守正 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/033 | 分类号： | G03F7/033;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/028;G03F7/32;H01L21/027;H05K3/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种图案形成材料，其是一种高感度而且显影性出色的、可以得到高析像度和高精细的图案的图案形成材料，本发明的目的还在于提供具备该图案形成材料的图案形成装置及使用该图案形成材料的图案形成方法。所以，本发明提供的图案形成材料的特征在于，具有支撑体和在该支撑体上至少具有的感光层，该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂，该感光层的感度在20mJ/cm2以下，在曝光之后显影该感光层时的最短显影时间为15～50秒。另外，本发明还提供使用所述图案形成材料的图案形成装置及图案形成方法。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 材料 以及 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种图案形成材料，其特征在于，包含支撑体、在该支撑体上至少具有的感光层，该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂，该感光层的感度在20mJ/cm2以下，在曝光之后显影该感光层时的显影时间为15～50秒钟。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于富士胶片株式会社，未经富士胶片株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200680048863.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
