[发明专利]制作具有垂直集成电子产品及晶片规模气密封装的X-Y轴双质量块调谐叉陀螺仪的方法有效
| 申请号： | 200680048919.1 | 申请日： | 2006-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN101663586A | 公开（公告）日： | 2010-03-03 |
| 发明（设计）人： | 史蒂文·S·纳西里;约瑟夫·西格;马丁·利姆;安东尼·弗朗西斯·小弗兰纳里;亚历山大·卡斯特罗 | 申请（专利权）人： | 因文森斯公司 |
| 主分类号： | G01P3/00 | 分类号： | G01P3/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孟 锐 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于测量X-Y传感器平面中角速度的X及Y分量的双轴传感器。所述双轴传感器包含用于测量角速度的所述X分量的第一子传感器及用于测量角速度的所述Y分量的第二子传感器。所述第一子传感器及所述第二子传感器含纳于所述双轴传感器内的单个气密密封内。 | ||
| 搜索关键词： | 制作 具有 垂直 集成 电子产品 晶片 规模 气密 封装 质量 调谐 陀螺仪 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于测量X-Y传感器平面中角速度的X及Y分量的双轴传感器，所述双轴传感器包括：第一子传感器，其用于测量角速度的所述X分量；及第二子传感器，其用于测量角速度的所述Y分量，其中用于测量角速度的所述X分量的所述第一子传感器及用于测量角速度的所述Y分量的所述第二子传感器含纳于所述双轴传感器内的单个气密密封内。
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