[发明专利]用于丛集工具的自动化状态估计系统以及操作该系统的方法有效
| 申请号： | 200680049419.X | 申请日： | 2006-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN101346678A | 公开（公告）日： | 2009-01-14 |
| 发明（设计）人： | U·迪克斯;H·舒马赫 | 申请（专利权）人： | 先进微装置公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;G06Q10/00;G06Q50/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 通过使用加权实体状态(weighted entity state)来代表丛集工具的状态，而提供了一种用来测量及监视诸如可靠度、可利用度及可维修度的丛集工具特性的高效率技术。例如，可根据该丛集工具的个别实体的产能而将所述实体加权，并可根据预定的层级结构而排出对应的实体状态的等级，因而可有效率结合加权实体状态，以便代表该丛集工具状态。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 丛集 工具 自动化 状态 估计 系统 以及 操作 方法 | ||
【主权项】：
1、一种系统，包括：被配置成自具有两个或更多个实体的丛集工具接收工艺讯息(process message)的接口，所述工艺讯息与所述实体中的每一实体有关；以及被连接到该接口的状态估计单元，且该状态估计单元被配置成根据所述工艺讯息以及所述丛集工具的每一实体的功能产能而自动地决定该丛集工具的可靠度、可利用度、及可维修度中的至少一者的衡量标准。
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