[发明专利]溅射靶结构体有效
| 申请号： | 200680049619.5 | 申请日： | 2006-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN101360843A | 公开（公告）日： | 2009-02-04 |
| 发明（设计）人： | 国谷勉;铃木信幸;寺师晶 | 申请（专利权）人： | 先进材料技术股份有限公司;国谷勉 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C49/06;C22C101/04;C22C101/10;C22C101/14;C22C101/18;C22C101/22 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供1种溅射靶结构体，该溅射靶结构体的机械加工性及热传导性优异，对钎焊材料的润湿性好，而且价格便宜，可长时间反复使用，不产生溅射靶龟裂、剥离的问题。该溅射靶结构体由溅射靶和垫板接合而成，其中，垫板由与溅射靶材料的线膨胀系数之差在2×10－6/K以下的材料构成，在垫板的至少一面配置厚度为0.3～1.5mm的铜板。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 结构 | ||
【主权项】：
1.溅射靶结构体，该溅射靶结构体由溅射靶和垫板接合而成，其中，垫板由与溅射靶材料的线膨胀系数之差在2×10-6/K以下的材料构成，在垫板的至少一面配置厚度为0.3～1.5mm的铜板。
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