[发明专利]不同温度反应室无效
申请号: | 200680049632.0 | 申请日: | 2006-12-18 |
公开(公告)号: | CN101351578A | 公开(公告)日: | 2009-01-21 |
发明(设计)人: | 杰安卢卡·瓦伦特;吉亚科莫·尼克劳·麦考利;丹尼罗·克里帕;弗兰科·佩雷蒂 | 申请(专利权)人: | LPE公司 |
主分类号: | C30B25/10 | 分类号: | C30B25/10;F27B14/06 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 意大利*** | 国省代码: | 意大利;IT |
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摘要: | 本发明涉及用于外延反应器的反应室(1),反应室(1)设置有限定内腔(10)的壁,具体为下壁(3)和上壁(2)以及至少两个侧壁(4、5);下壁(3)和上壁(2)具有不同的构造和/或由不同材料制成;这使得下壁(3)将被加热到比上壁(2)高的温度。本发明还涉及用于加热反应室的方法。 | ||
搜索关键词: | 不同 温度 反应 | ||
【主权项】:
1.一种反应室,其用于外延反应器,该反应室设置有限定内腔的壁,具体为下壁和上壁以及至少两个侧壁,其特征在于,所述下壁和所述上壁具有不同的构造和/或由不同材料制成。
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