[发明专利]周期结构的光学检测方法和系统有效
| 申请号： | 200680050442.0 | 申请日： | 2006-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN101405766A | 公开（公告）日： | 2009-04-08 |
| 发明（设计）人： | E·埃舒;W·劳克斯 | 申请（专利权）人： | 伊斯拉视像系统股份公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 杨晓光;于 静 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 公开了一种通过光学图像记录器检测周期结构(1)的方法和系统，该光学图像记录器具有像素结构(2)并且其记录的图像(6)与周期结构(1)的无瑕疵基准图像(4)进行比较。为了能够以简单装置可靠检测瑕疵，在基准图像(4)的至少一个位置(X，Y)内确定周期结构(1)相对光学图像记录器的像素结构(2)的相位角(相位X，相位Y)。记录图像(6)被分为检测区域(7)，并对每个检测区域(7)确定周期结构(1)相对图像记录器的像素结构(2)的相位角(相位X，相位Y)。为比较检测区域(7)和基准图像(4)，然后选择相位角(相位X，相位Y)对应于检测区域(7)的基准图像区域(8)。 | ||
| 搜索关键词： | 周期 结构 光学 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种通过光学图像记录器检测周期结构(1)的方法，所述光学图像记录器具有像素结构(2)并且其记录的图像(6)与所述周期结构(1)的无瑕疵基准图像(4)比较，其特征在于在所述基准图像(4)中，在至少一个位置(X，Y)上，确定所述周期结构(1)相对于所述光学图像记录器的像素结构(2)的相位角(相位X，相位Y)，所述记录的图像(6)被分为检测区域(7)，并且，对于每个检测区域(7)，确定所述周期结构(1)相对于所述光学图像记录器的像素结构(2)的相位角(相位X，相位Y)，以及对于所述检测区域(7)与所述基准图像(4)的比较，选择基准图像区域(8)，所述基准图像区域(8)的相位角(相位X，相位Y)对应于所述检测区域(7)。
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