[发明专利]动态侦测移动基材损毁和偏位的传感器有效
| 申请号： | 200680051400.9 | 申请日： | 2006-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN101360988A | 公开（公告）日： | 2009-02-04 |
| 发明（设计）人： | W·A·巴格利;P·李;K－T·金;S－K·金;T·基约塔克;S·金;T·松本;J·E·拉森;M·吉纳佳瓦;J·霍夫曼;B·C·梁 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/86 | 分类号： | G01N21/86 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种设备与方法，其利用至少二个传感器(140A、140B)以沿着移动基材的至少二平行边缘的长度而侦测此基材缺陷，例如损毁或偏位的存在。在一实施例中，该设备包含一种传感器设置，此传感器设置在基材的至少二平行边缘感测基材以侦测基材缺陷。在另一实施例中，该设备包含一种机械手臂(114或130)，其具有一基材支持表面；以及一传感器设置，此传感器设置在基材的至少二平行边缘感测基材以侦测基材缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 动态 侦测 移动 基材 损毁 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种用于侦测基材缺陷的设备，至少包含：第一传感器；以及第二传感器，其中当基材通过该第一与第二传感器时，该第一传感器侦测该基材在接近该基材的第一边缘，而该第二传感器侦测该基材在接近与该基材的该第一边缘平行的第二边缘。
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