[发明专利]用于检查玻璃片的斜传输照射检查系统和方法无效
申请号: | 200680051463.4 | 申请日: | 2006-10-24 |
公开(公告)号: | CN101360985A | 公开(公告)日: | 2009-02-04 |
发明(设计)人: | R·D·杜瑞高 | 申请(专利权)人: | 康宁股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/00 | 分类号: | G01N21/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 李玲 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本文描述一种斜照射检查系统和方法,用于标识玻璃片上或玻璃片内(例如LCD玻璃基板)的缺陷(例如,内含物、表面杂质、划伤、污点、气泡、条痕或与表面突变或材料不均匀相关联的其它缺陷)。 | ||
搜索关键词: | 用于 检查 玻璃片 传输 照射 系统 方法 | ||
【主权项】:
1.一种检查系统,包括:斜照射系统,照射玻璃片至少一部分;以及相机,生成所述玻璃片的所照射部分中至少一部分的图像,其中所述图像使人们能够检测、表征和分类所述玻璃片中的缺陷。
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