[发明专利]板状体的研磨方法及其装置有效
| 申请号： | 200680051523.2 | 申请日： | 2006-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN101360584A | 公开（公告）日： | 2009-02-04 |
| 发明（设计）人： | 生田康成;铃木健雄 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | B24B7/06 | 分类号： | B24B7/06;B24B7/24 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 刘多益 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供能以良好的精度对大尺寸板状体进行研磨的板状体的研磨方法及其装置。使板状体沿规定方向移动的同时利用多台自转且公转的圆形研磨具对板状体进行连续研磨的板状体的研磨方法，其特征在于，将直径小于上述板状体宽度的上述圆形研磨具以上述板状体的移动中心线为基准成对配置，且上述各圆形研磨具越出移动中心线对上述板状体进行研磨。 | ||
| 搜索关键词： | 板状体 研磨 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.板状体的研磨方法，它是使板状体向规定方向移动的同时利用多台自转且公转的圆形研磨具对板状体进行连续研磨的板状体研磨方法，其特征在于，将直径小于所述板状体宽度的所述圆形研磨具以所述板状体的移动中心线为基准成对配置，且所述各圆形研磨具越出移动中心线对所述板状体进行研磨。
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