[发明专利]用于离子注入系统的离子束角度测量系统和方法

摘要

沿离子注入的轴的入射角的测量值通过利用正和负狭缝结构(104，106)获得。正狭缝结构具有入口开口(120)、出口开口(122)、以及在正方向上的具有选择的角度范围的离子束的获得部分之间的狭缝轮廓。负狭缝结构具有入口开口(121)、出口开口(123)、以及在负方向上的具有选择的角度范围的离子束的获得部分之间的狭缝轮廓。第一射束测量机构(214)测量正部分的射束电流，以获得正角度射束电流测量值。第二射束测量机构(216)测量负部分的射束电流，以获得负角度射束电流测量值。分析仪部件(126)利用正角度射流测量值和负角度射流测量值确定测量的入射角。

主权项

1.一种离子注入系统，所述系统包括：离子源，所述离子源产生离子束；射束线组件，所述射束线组件接收来自离子源的离子束，并处理该离子束；角度检测仪，所述角度检测仪接收来自所述射束线组件的离子束，并包括：结构，所述结构具有通过其中的狭缝，所述狭缝包括入口开口、出口开口、以及在入口开口和出口开口之间的狭缝轮廓，其中所述入口开口和出口开口具有变化的形状，和/或狭缝轮廓在第一方向上具有根据选择的角度范围形成的形状，其中所述狭缝根据在第一方向上选择的角度范围使所述离子束的一部分选择地穿过；以及传感器机构，所述传感器机构接收所述离子束的一部分，并获得该部分的离子束的电流测量值；以及目标位置，所述目标位置接收来自射束线组件的离子束。