[发明专利]表面声波压力传感器无效
| 申请号： | 200680052313.5 | 申请日： | 2006-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN101336513A | 公开（公告）日： | 2008-12-31 |
| 发明（设计）人： | C·P·科比亚努;I·帕夫列斯库;V·V·阿夫拉梅斯库;J·D·库克;L·J·麦克纳利 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | H03H3/08 | 分类号： | H03H3/08;G01L9/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 朱海煜;王忠忠 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 改进的SAW压力传感器及其制造方法。可提供上面设置有多个SAW变换器的SAW晶片。也可提供覆盖晶片，而玻璃壁位于覆盖晶片与SAW晶片之间。覆盖晶片可固定到SAW晶片上，使得玻璃壁环绕SAW变换器。在一些实例中，玻璃壁可至少部分限定在覆盖晶片与SAW晶片之间的间隔。在覆盖晶片与SAW晶片之间也可提供一个或多个轮廓，使得在覆盖晶片设置在SAW晶片上方并相对于其固定时，至少一个轮廓环绕至少一个SAW变换器。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 声波 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种同时产生多个SAW传感器的方法，所述方法包括以下步骤：提供SAW晶片，所述SAW晶片包括设置于其上的多个SAW变换器；提供覆盖晶片；在所述SAW晶片与所述覆盖晶片之间提供防护壁；以及将所述覆盖晶片固定到所述SAW晶片，使得所述防护壁环绕所述多个SAW变换器。
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