[发明专利]抗反射涂料无效
| 申请号： | 200680052719.3 | 申请日： | 2006-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN101371196A | 公开（公告）日： | 2009-02-18 |
| 发明（设计）人： | P－F·付;E·S·莫耶 | 申请（专利权）人： | 陶氏康宁公司 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;G03F7/09 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 张钦 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种抗反射涂层，它包含：(i)具有下述通式的倍半硅氧烷树脂：(PhSiO(3－x)/2(OH)x)mHSiO(3－x)/2(OH)x)n(MeSiO(3－x)/2(OH)x)p，其中Ph是苯基，Me是甲基，x的数值为0、1或2；m的数值为0.01－0.99，n的数值为0.01－0.99，p的数值为0.01－0.99，和m+n+p＝1；(ii)聚环氧乙烷流体；和(iii)溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 涂料 | ||
【主权项】：
1.一种电子器件上形成抗反射涂层的方法，该方法包括：(A)施加ARC组合物到电子器件上，所述ARC组合物包含：(i)具有下述通式的倍半硅氧烷树脂：(PhSiO(3-x)/2(OH)x)mHSiO(3-x)/2(OH)x)n(MeSiO(3-x)/2(OH)x)p 其中Ph是苯基，Me是甲基，x的数值为0、1或2；m的数值为0.01-0.99，n的数值为0.01-0.99，p的数值为0.01-0.99，和m+n+p≈1；(ii)聚环氧乙烷流体；和(iii)溶剂；和(B)除去溶剂并固化所述倍半硅氧烷树脂，以在电子器件上形成抗反射涂层。
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