[发明专利]用于低于200nm的平版印刷的基于金刚烷的分子玻璃光致抗蚀剂无效
| 申请号： | 200680052992.6 | 申请日： | 2006-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN101390015A | 公开（公告）日： | 2009-03-18 |
| 发明（设计）人： | 田中真治;克里斯托弗·K·奥伯 | 申请（专利权）人： | 康奈尔研究基金会;出光兴产株式会社 |
| 主分类号： | G03C1/73 | 分类号： | G03C1/73;G03F7/20;G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 巫肖南 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了作为新型高效光致抗蚀剂物质的由含有缩醛和/或酯部分的金刚烷衍生物产生的玻璃光致抗蚀剂。所公开的一些基于金刚烷的抗蚀剂具有三足结构，所公开的其它基于金刚烷的抗蚀剂包括一个或多个胆酸基。所公开的金刚烷衍生物可由市售的原材料合成。仅作为例子，所公开的许多无定形玻璃光致抗蚀剂中的一种具有上述结构：GR-5金刚烷-1，3，5-三基三(氧基亚甲基)三胆酸酯。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 低于 200 nm 平版印刷 基于 金刚 分子 玻璃 光致抗蚀剂 | ||
【主权项】：
1. 一种光致抗蚀剂材料，其含有：包括金刚烷基、并且包括酯基或缩醛基中的至少一种的玻璃。
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