[发明专利]感光性树脂组合物及感光性转印薄膜以及图案形成方法无效
| 申请号： | 200680053832.3 | 申请日： | 2006-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN101401035A | 公开（公告）日： | 2009-04-01 |
| 发明（设计）人： | 南一守;后藤靖友;佐藤守正 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/028;G03F7/033;H05K3/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱 丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种在基板上的抗蚀剂的随动性良好且可以同时实现出色的显影性和蚀刻时的剥离片的微细化的感光性树脂组合物，具有利用该感光性树脂组合物形成的感光层的感光性转印薄膜，以及使用该感光性转印薄膜的可以形成高精细的图案的图案形成方法。为此，该感光性树脂组合物的特征在于，含有粘合剂、聚合性化合物以及光聚合引发剂，熔融粘度在50℃下为40,000～120,000Pa·s，在70℃下为5,000～20,000Pa·s。本发明提供具有利用该感光性树脂组合物形成的感光层的感光性转印薄膜以及使用该感光性转印薄膜的可以形成高精细的图案的图案形成方法。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 薄膜 以及 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有粘合剂、聚合性化合物以及光聚合引发剂，熔融粘度在50℃下为40,000～120,000Pa·s，在70℃下为5,000～20,000Pa·s。
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