[发明专利]导电性金属氧化物薄膜的除去方法及装置

摘要

本发明提供除去导电性金属氧化物薄膜直至端部也无残留的方法及装置。将正电极13和第1负电极14与基材11表面的导电性金属氧化物薄膜12对向并以非接触状态并排设置。在正电极13和第1负电极14间，在导电性金属氧化物薄膜12的宽度方向以接触状态设置多个第2负电极17。以电解液存在于这些电极13、14、17和导电性金属氧化物薄膜12间的状态，对电极13、14、17施加电压。使基材11相对于电极13、14、17进行移动，使得导电性金属氧化物薄膜12在通过负电极14、17后通过正电极13。可不生成瑕疵或应力变形，而有效地除去导电性金属氧化物薄膜直至最终端部，可实现高价的功能性玻璃基板等的再生利用。

主权项

1. 导电性金属氧化物薄膜的除去方法，其特征在于，将正电极和第1负电极与形成于基材表面的导电性金属氧化物薄膜对向并以非接触状态并排设置，同时在所述第1负电极的前段或后段或前段及后段，将第2负电极在所述导电性金属氧化物薄膜的宽度方向以接触状态设置多个，然后，以在这些正电极、第1负电极、第2负电极和所述导电性金属氧化物薄膜间存在电解液的状态，对所述正电极、第1负电极、第2负电极施加电压，使形成于基材表面的导电性金属氧化物薄膜相对于所述正电极、第1负电极、第2负电极进行移动，使得导电性金属氧化物薄膜在通过第1负电极、第2负电极后通过正电极，藉此利用还原反应除去所述基材表面的导电性金属氧化物薄膜。