[发明专利]测辐射热仪和制造测辐射热仪的方法有效
申请号: | 200680055785.6 | 申请日: | 2006-09-08 |
公开(公告)号: | CN101512308A | 公开(公告)日: | 2009-08-19 |
发明(设计)人: | 霍尔格·福格特;马尔科·鲁斯 | 申请(专利权)人: | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
主分类号: | G01J5/20 | 分类号: | G01J5/20;H01L27/146 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 朱进桂 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明公开一种测辐射热仪,包括隔膜、第一间隔体和第二间隔体,该隔膜包括电阻层和接触层。在朝向基底的一侧,该接触层具有第一接触区域和第二接触区域,第一间隔体在该第一接触区域电接触该接触层,第二间隔体在该第二接触区域电接触该接触层。以这种方式,该隔膜被保持为远离该基底预定的距离。该接触层由间隙横向截断,使得该接触层被划分为至少两部分,第一部分包括该第一接触区域,且第二部分包括该第二接触区域,并且从该第一接触区域至该第二接触区域在该接触层中不存在直接连接,并且该电阻层与该接触层的该第一和第二部分接触。 | ||
搜索关键词: | 辐射热 制造 方法 | ||
【主权项】:
1. 一种测辐射热仪,包括:隔膜(10);第一间隔体(150a);及第二间隔体(150b),该隔膜(10)包括电阻层(170)和接触层(160),该接触层(160)在朝向基底的一侧包括第一接触区域、第二接触区域,该第一间隔体(150a)在该第一接触区域电接触该接触层(160),该第二间隔体(150b)在该第二接触区域电接触该接触层(160),且所述第一和第二间隔体(150a)、(150b)将该隔膜(10)保持为远离该基底预定的距离(198),且该接触层(160)由间隙(162)横向截断,使得该接触层(160)被划分为至少两部分,该接触层的第一部分(160a)包括该第一接触区域,且该接触层的第二部分(160b)包括该第二接触区域,并且从该第一接触区域至该第二接触区域在该接触层(160)内不存在直接连接,并且该电阻层(170)与该接触层(160)的该第一部分(160a)接触,并与该接触层(160)的该第二部分(160b)接触。
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