[其他]开槽的固定环无效
| 申请号： | 200690000050.9 | 申请日： | 2006-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN201346739Y | 公开（公告）日： | 2009-11-18 |
| 发明（设计）人： | S-P·王;A·迪布斯特;A·P·马内斯;W-Y·许;J·萨拉斯-韦尔尼斯;Z·王 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B41/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陆 嘉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本实用新型是揭示一种用于化学机械研磨的固定环。此环的底部表面具不相交(non-intersect)的沟槽(grooves)。所述交替沟槽彼此呈相对角度。 | ||
| 搜索关键词： | 开槽 固定 | ||
【主权项】：
1.一种用于化学机械研磨的固定环，其特征在于，至少包含：大致上环状的环形件，具有底部表面，该底部表面包含数组通道，各个通道自该环状的环形件的内径延伸至该环状的环形件的外径，其中各组通道的第一通道是以第一角度与该固定环的径向部份相交，以及各组通道的第二通道是第二角度与该固定环的该径向部份相交，该第一角度与该第二角度不同且该第一通道不与该第二通道相交且该些通道是直的。
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