[发明专利]切削工具的DLC镀膜制程无效
| 申请号： | 200710003667.7 | 申请日： | 2007-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN101230447A | 公开（公告）日： | 2008-07-30 |
| 发明（设计）人： | 黄续镡;周钟霖;宋同庆;赖泰锽;张杰翔 | 申请（专利权）人： | 环宇真空科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06;C23C16/26;C23C16/448 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王燕秋 |
| 地址： | 台湾省台北县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种切削工具的DLC镀膜制程，其包含下列各步骤：a)提供一切削工具以及一真空腔，切削工具的刃径在3.175mm以下，真空腔具有一真空管路，通过真空管路将真空腔抽成真空状态；b)提供一碳源，再以气相沉积方式对切削工具表面进行沉积，以形成一类钻碳薄膜。由此，本发明能够提供切削工具高硬度、低摩擦系数、高稳定性的机械性质，具有耐磨耗、表面平滑以及简化制程步骤的特色。 | ||
| 搜索关键词： | 切削 工具 dlc 镀膜 | ||
【主权项】：
1.一种切削工具的DLC镀膜制程，其特征在于包含下列各步骤：a)提供一切削工具以及一真空腔，所述切削工具的刃径在3.175mm以下，所述真空腔具有一真空管路，通过所述真空管路将所述真空腔抽成真空状态；b)提供一碳源，再以气相沉积方式对所述切削工具表面进行沉积，以形成一类钻碳薄膜。
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