[发明专利]铝类金属膜及钼类金属膜的层叠膜用蚀刻液

摘要

本发明提供一种能对以钼类金属和铝类金属为主成分的金属层叠膜进行整体蚀刻，且可以抑制各膜的侧刻蚀量，将锥角控制为20～70度的优异的蚀刻液。该蚀刻液是对在绝缘膜基板上形成的铝类金属膜及钼类金属膜的层叠膜进行蚀刻的蚀刻液，含有磺酸化合物、磷酸和硝酸，其中所述磺酸化合物选自硫酸、硫酸铵、硫酸钠、硫酸钾、硫酸氢铵、硫酸氢钠、硫酸氢钾、硫酸钙、硫酸铈铵、硫酸铁、硫酸铜、硫酸镁、硫酸铅、硫酸羟基铵、酰胺硫酸、酰胺硫酸铵、过二硫酸铵、乙二胺硫酸盐、苯胺硫酸盐和腺嘌呤硫酸盐。

主权项

1、一种蚀刻液，其是对在绝缘膜基板上形成的铝类金属膜及钼类金属膜的层叠膜进行蚀刻的蚀刻液，含有磺酸化合物、磷酸和硝酸，其中，所述磺酸化合物选自硫酸、硫酸铵、硫酸钠、硫酸钾、硫酸氢铵、硫酸氢钠、硫酸氢钾、硫酸钙、硫酸铈铵、硫酸铁、硫酸铜、硫酸镁、硫酸铅、硫酸羟基铵、酰胺硫酸、酰胺硫酸铵、过二硫酸铵、乙二胺硫酸盐、苯胺硫酸盐和腺嘌呤硫酸盐。